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  • 半导体智能剥离技术研究进展

    分类: 核科学技术 >> 核科学技术其他学科 提交时间: 2024-05-07

    摘要: 智能剥离技术(Smart-Cut)是一种利用离子注入和晶片键合来转移超薄单晶层的技术。在先进微电子系统中,智能剥离技术作为半导体材料异质异构集成的重要技术手段之一,受到了学界和行业的广泛关注。智能剥离技术是在半导体材料表面单一注入或共注入氢、氦离子,并调控注入工艺参数(能量、温度、注量、注量率、注入顺序等),将半导体材料和衬底材料在低温下键合后,再进行退火(温度、时间、速率),使注入层内产生平行表面的微裂纹,从而实现层转移。本论文总结了近二十年第一、二、三、四代半导体智能剥离技术研究进展,分析了微观缺陷和微裂纹生长机制,探究了不同材料的剥离阈值差异原因,为理解和掌握智能剥离技术提供了参考,对利用智能剥离技术制备半导体器件有重要意义。

  • 资本失范性介入国际学术期刊的出版乱象分析与治理思考

    分类: 其他 >> 综合 提交时间: 2023-09-08

    摘要: 【目的】通过对资本失范性介入国际学术期刊出版乱象的分析,为开放获取模式下我国学术期刊出版规范管理和伦理治理提供研究参考。【方法】结合Cabells掠夺性期刊报告和国际科学院组织掠夺性期刊案例数据,从资本失范性介入的视角,揭示当前国际学术期刊出版领域乱象丛生的原因及伦理问题。【结果】被资本失范性介入的国际学术期刊存在虚假同行评议、克隆知名期刊、戏弄学术研究、精准定向收割、绑架投稿索酬等出版乱象。从资本失范性介入的视角观察,存在伦理失范加剧、学术规范异化、定向掠夺资源、学术价值扭曲等伦理问题。【结论】厘清问题本质,着重源头治理,从认知层面全面提升科研人员对学术出版领域学术失范的辨识能力,营造正确的学术价值观,以科研诚信的自觉主动抵制失范逐利的诱惑。

  • 陕西省大气环境承载力分析

    分类: 地球科学 >> 大气科学 提交时间: 2018-10-23 合作期刊: 《干旱区地理》

    摘要: 以陕西省大气环境中SO2和PM10作为评估对象进行大气环境承载力研究,采用烟云足迹分析法计算了陕西省2010—2013年环境容量系数A值和SO2、PM10环境承载力的时空分布状况。结果表明,陕西省环境容量系数A值变化范围较大,2010—2013年全省年平均A值变化范围为1~5,陕北地区环境容量系数A值最大,其次为关中,陕南最小,2010—2013年关中地区西安、宝鸡和渭南呈现出逐年下降的趋势。SO2环境承载力全省整体上2010—2013年变化范围为-148 578.04 km2~-189 149.59 km2,4年SO2承载力均无余额,其中渭南和西安SO2承载力严重不足且呈下降趋势; PM10环境承载力全省整体上2010—2013年变化范围为12 701.47 km2~44 511.02 km2,4 a PM10承载力均有余额,全省各市除渭南和铜川外4 a均有余额,但总体呈下降趋势。