注册
登录
EN
|
中文
首页
论文提交
论文浏览
论文检索
个人中心
帮助
检索
按提交时间
2023
1
按主题分类
综合
1
按作者
余江
1
刘佳丽
1
张越
1
李世光
1
甘泉
1
按机构
中国科学院发展规划局
1
中国科学院大学公共政策与管理学院
1
中国科学院微电子研究所
1
中国科学院科技战略咨询研究院
1
当前资源共
1
条
显示摘要
点击量
时间
下载量
您选择的条件:
中国科学院微电子研究所
1. ChinaXiv:202303.09044
下载全文
以跨学科大纵深研究策源重大原始创新:新一代集成电路光刻系统突破的启示
分类:
其他
>>
综合
提交时间:
2023-03-28
合作期刊:
《中国科学院院刊》
余江
刘佳丽
甘泉
李世光
张越
点击量
147
下载量
81
评论