强磁场下不同晶粒尺寸Fe薄膜生长模式演变及其对磁性能的影响

分类： 材料科学 >> 材料科学（综合） 提交时间： 2023-03-19 合作期刊: 《金属学报》

杜娇娇 李国建 王强 马永会 王慧敏 李萌萌

摘要： 采用强磁场下物理气相沉积的方法, 通过提高蒸发源温度获得晶粒尺寸逐渐降低的纳米晶Fe 薄膜, 研究了强磁场对不同晶粒尺寸Fe 薄膜生长和磁性能的影响. 结果表明, 当蒸发源温度为1440 ℃时, Fe 薄膜的晶粒细小, 强磁场使薄膜从层状生长变成了柱状生长, 有效降低了薄膜缺陷. 当蒸发源温度为1400 和1350 ℃时, Fe 薄膜的晶粒较粗大, 强磁场不能改变其柱状生长方式, 但是却提高了柱的宽度. 强磁场提高了Fe 薄膜的平均晶粒尺寸以及颗粒(由晶粒构成)尺寸、降低了薄膜表面粗糙度. 随着晶粒尺寸的降低, 强磁场提高Fe 薄膜矫顽力、饱和磁化强度和剩磁比的能力增强.

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